4-inch落地型單頭旋轉塗佈機 (Floor-standing Single Bowl Spin Coater)
規格簡介:
●外觀尺寸:850mm(W)x800mm(D)x1700mm(H)。
●基材:2”~4” Substrate。
●手動放片/手動供液
●供料手臂1組
●主軸轉速:0~6000 rpm (±5rpm)。